MKY-KDY-1型四探針電阻率測試儀是嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。
儀器特點(diǎn)如下:
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。
可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測量精度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、可加配電腦,使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動換向測量、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、可配KDDJ-2電動測試架,自動上下運(yùn)行,使測量更方便快捷。